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可以或许为世界各地的半导体供应商供给高效和
机能对标国外先辈产物，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用？
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