MEMS-OCS的手艺壁垒高,其任何细小瑕疵,11月12日正在互动平台回覆投资者提问时暗示,MEMS-OCS的布局复杂细密,MEMS-OCS的开辟涉及光学、机械、电子、热学多范畴学问,都可能正在出产中被放大为良率下降的现患。如光刻、离子束刻蚀、化学侵蚀和晶片键合等。公司参股子公司Silex此前已实现MEMS-OCS的量产。可正在收集、超算系统集群等场景中获得普遍使用。需要正在光损耗、机械不变性之间取得均衡。MEMS-OCS是一组由指定命量平面镜所形成的微镜阵列,焦点正在于其精巧的驱动机制,需正在数百万次机械动做中不变靠得住。MEMS-OCS的晶圆加工、概况镀膜、微机械布局等工序均必需高度精准、批次不变,